一般的真真空電子束焊機都由五部分組成；
一是，電子槍部分，這個是中心，也是重要的部件；
二是，真空部分，這個部分包括真空室以及一系列的真空泵組，這個部分也就是為什么讓電子束焊接的功率下降的原因，因為抽真空這個時間相對于其他的焊接辦法來說卻是一個長處也是一個缺陷；

三是，機械傳動部分，這部分包括一些軸得傳動等等，一般的電子束焊接的軸分為二軸，三軸，四軸，五軸（X軸，Y軸，Z軸，A軸（旋轉軸），B軸（翻轉軸）），一般五軸就夠用了，可以滿意各個地方的焊接；如果是動槍的話，還有槍的運動部分等等；
四是，電源體系，不管高壓（150KV）仍是中壓（60KV），都需求這個電源體系；
五，控制體系，也就是整個設備運轉所需求的體系，有可能是十分原始的dos體系，也可能是西門子的840D體系，可是這個是整個設備能跑起來能操作的一個重要的部分；
以上五個部分，缺一不可，可是這五個是真空電子束焊機中心部分。有些帶其他的功能，比方還有送絲體系等等。