當高壓電源的輸出出現短路或者出現拉弧現象，瞬間會產生較大的短路電流，其較大的短路電流值主要靠高壓電源內部的限流電阻來限制，短路電流的能量主要來自高壓電源倍壓整流電路電容中所儲存的能量，這一瞬間相當短暫，大約只有上百個微秒,之后由于電流環的作用，輸出電流立即回到所限定的電流值， 從而間接實現短路保護。
      高壓電源有拉弧保護功能，當高壓電源的輸出出現短路時系統自動將PWM電路中的輸出脈沖迅速關閉，使高壓電源的輸出為零，延時一定的時間，系統作出試探，如果短路沒有解除，系統會一直試探下去或是試探到一定的次數停機報警，如果試探發現短路解除系統將恢復正常工作。